UNISERS
Ali Oezhan Altun
Automatisiertes Analysegerät für hochreine Flüssigkeiten
Verunreinigungen in den Prozessflüssigkeiten können Defekte auf den Halbleiterchips verursachen und den Fertigungserfolg verringern. Die Halbleiterindustrie benötigt dringend ein besseres Messsystem zur Überwachung kritischer Verunreinigungen aller Prozessflüssigkeiten wie Reinstwasser (UPW), hochreine Säuren und Lösungsmittel bei Flüssigkeitsfiltrations- und Verteilungssystemen.
UNISERS entwickeln eine vollautomatische Anlage zur Identifizierung und Quantifizierung einer Reihe kritischer Verunreinigungen der Prozessflüssigkeiten mit den erforderlichen Empfindlichkeitsstufen. Eine bessere Verunreinigungsmesstechnik wird der Industrie helfen, den Prozess zu verbessern und Chipfehler zu reduzieren. Eine geringere Fehlerdichte soll zudem die Fertigungsausbeute und die Zuverlässigkeit der gefertigten Chips verbessern.